廣運OHT技術如何滿足半導體嚴苛的製程要求？

Question

## 廣運OHT技術在半導體製程中的應用與優勢

Accepted Answer

廣運（6125）透過其先進的無塵室自動化搬運系統（Overhead Hoist Transport, OHT），有效滿足半導體產業對製程環境的嚴苛要求。此系統的核心在於其能夠在高度潔淨的無塵室環境中，精準、穩定且自動化地運送晶圓盒（FOUP）或其他製程載具。其技術優勢體現在對潔淨度的嚴格控制、對微粒產生的最小化，以及對載具位置與路徑的高度精確導航能力，這正是半導體製造過程中不可或缺的關鍵要素。

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