工研院提供了哪些關鍵技術，助力山太士平衡膜發展？

Question

## 工研院在異質整合與先進封裝領域扮演關鍵協作角色，助力山太士突破翹曲瓶頸

Accepted Answer

工研院透過與山太士的合作，在半導體異質整合與面板級扇出封裝（FOPLP）等前瞻領域展現了關鍵的技術貢獻。雙方共同展出的 balance film 技術，已能有效解決先進封裝製程中常見的應力不匹配所導致的翹曲問題，將翹曲程度精準控制在業界領先的 0.3 mm 以內，並已成功應用於 370x470mm (G2.5) 等尺寸，同時亦適用於台積電最新的 310x310mm 方案。

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