High-NA EUV設備採購，台積電暫不量產的成本考量為何？

Question

## 台積電暫緩 High-NA EUV 設備量產，主因成本高昂，技術門檻與優勢仍待市場驗證

Accepted Answer

台積電確認已採購 High-NA EUV 設備用於研發，但現階段暫不導入量產，其主要考量因素為設備本身的龐大成本。儘管 High-NA EUV 技術代表著下一世代的半導體製程能力，具備更高的解析度和更精密的製程潛力，但其初期投資金額與營運成本相較於現有 EUV 技術顯著提升，這使得台積電在全面導入量產前，需要審慎評估其經濟效益與市場需求。

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